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ZYGO 超高分辨率成像,精密中頻特征計量

日期:2019年07月12日  點擊數:載入中...

YGO新型Verifire HDX幹涉儀是爲超高精度的光學元件和系統設計和制造的,可以獲得元件表面的中頻特征信息。系統包含現有Verifire HD的功能-比如QPSI和長壽命穩頻的激光器,並增加了重要的增強功能,如刷新行業水平的分辨率和成像能力,儀器傳遞函數(ITF)、出衆的中頻特征分析和大坡度表面測試,同時也兼具了ZYGO DynaPhase®系列動態采集技術,可以消除震動引起的問題並且能夠在近乎任何環境中精確計量。



特殊設計優化的分辨率和性能

Verifire HDX系統具有全新的光學設計,經過嚴格設計,可爲其所配的3.4kx 3.4k(1160萬像素)傳感器提供突破像素限制的性能,呈現增強的圖像,可以顯示出較低分辨率幹涉儀難以辨識的表面特征。這種超高的空間分辨率不會以犧牲速度爲代價,該系統在全分辨率下以幀率96 Hz運行,比其它高分辨率幹涉儀速度快10倍,那些由于采樣速度較慢在采樣的時候會引入震動誤差從而測試能力受限。

功率譜密度(PSD)和衍射分析工具完善了Verifire HDX系統的中頻特征分析能力,並通過簡單直觀的用戶界面來分析和報告綜合表面特性。


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