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                    ZYGO 超高分辨率成像,精密中頻特征計量

                    日期:2019年07月12日  點擊數:載入中...

                    YGO新型Verifire HDX幹涉儀是爲超 高 精度的光學元件和系統設計和制造的,可以獲得元件表面的中頻特征信息。系統包含現有Verifire HD的功能-比如QPSI和長壽命穩頻的激光器,並增加了重要的增強功能,如刷新行業水平的分辨率和成像能力,儀器傳遞函數(ITF)、出衆的中頻特征分析和大坡度表面測試,同時也兼具了ZYGO DynaPhase®系列動態采集技術,可以消除震動引起的問題並且能夠在近乎任何環境中 精 確 計量。



                    特殊設計優化的分辨率和性能

                    Verifire HDX系統具有全新的光學設計,經過嚴格設計,可爲其所配的3.4kx 3.4k(1160萬像素)傳感器提供突破像素限制的性能,呈現增強的圖像,可以顯示出較低分辨率幹涉儀難以辨識的表面特征。這種超 高的空間分辨率不會以犧牲速度爲代價,該系統在全分辨率下以幀率96 Hz運行,比其它高分辨率幹涉儀速度快10倍,那些由于采樣速度較慢在采樣的時候會引入震動誤差從而測試 能力受限。

                    功率譜密度(PSD)和衍射分析工具完善了Verifire HDX系統的中頻特征分析能力,並通過簡單直觀的用戶界面來分析和報告綜合表面特性。


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